機型:OPTORUN1850 "!?bC#d#(  
AS膜厚15nm. ]l'ki8  
外圈AS可達(dá)規(guī)水接觸角110度，但是內(nèi)圈都達(dá)不到，有什么改善方法嗎? zJ`(LnV  
懇求指教!!!

蒸發(fā)源抬高試一試？或者增加厚度

蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴散泵的方向走的。 T}[vfIJD  
如果蒸發(fā)源在靠門的位置，那么蒸發(fā)的分布應(yīng)該就比較均勻了。 "n,ZP@M;  
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另外真空度也有關(guān)系，真空也會影響膜層分布。 2*YXm>|1  
你可以試著空抽幾分鐘后再開阻蒸

路過學(xué)習(xí)看看呢

學(xué)習(xí)看看呢

ouyuu:蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴散泵的方向走的。 z/&a\`DsU  
如果蒸發(fā)源在靠門的位置，那么蒸發(fā)的分布應(yīng)該就比較均勻了。
另外真空度也有關(guān)系，真空也會影響膜層分布。 *[~o~e/YCb  
你可以試著空抽幾分鐘后再開阻蒸 (2022-12-01 21:36)  q;0&idYC  

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真空度是越低較好，還是越高較好?

聯(lián)系我   YKWQAZWSX ytV)!xe  

danieltsai06:真空度是越低較好，還是越高較好? (2022-12-05 11:08)  T4~`e_  

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真空度代表了蒸發(fā)源的平均自由程，平均自由程影響分布。 oO#xx)b  
真空度越高平均自由程越大，這樣到達(dá)遠(yuǎn)端的材料就越多。 :K^gu%,&$  
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只能說影響分布，具體分布哪部分增多哪部分減少， )b&-3$?  
還要看具體的蒸發(fā)源位置，傘形，傘的高度，排氣口高度等等

換材料，增加厚度

厚度不夠，換材料