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    [求助]蒸鍍AS/AF的問題 [復制鏈接]

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    離線danieltsai06
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-12-01
    機型:OPTORUN1850 ,xYsH+ybA  
    AS膜厚15nm. 8b(1ut{  
    外圈AS可達規(guī)水接觸角110度，但是內圈都達不到，有什么改善方法嗎? Wzqb>.   
    懇求指教!!!
     
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    離線xzaxd
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2022-12-01
    蒸發(fā)源抬高試一試？或者增加厚度
    共1條評分 ，光幣+1
    danieltsai06 光幣 +1 優(yōu)秀文章，支持！ 2022-12-05
    離線ouyuu
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2022-12-01
    蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴散泵的方向走的。 u