機(jī)型:OPTORUN1850 "A\.`*6  
AS膜厚15nm. Z+%Uwj  
外圈AS可達(dá)規(guī)水接觸角110度，但是內(nèi)圈都達(dá)不到，有什么改善方法嗎? rz/^_dV  
懇求指教!!!

蒸發(fā)源抬高試一試？或者增加厚度

蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴(kuò)散泵的方向走的。 \;w$"@9  
如果蒸發(fā)源在靠門的位置，那么蒸發(fā)的分布應(yīng)該就比較均勻了。 hCXSC*;  
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另外真空度也有關(guān)系，真空也會影響膜層分布。 wk @-O}W  
你可以試著空抽幾分鐘后再開阻蒸

路過學(xué)習(xí)看看呢

學(xué)習(xí)看看呢

ouyuu:蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴(kuò)散泵的方向走的。 2l43/aCq  
如果蒸發(fā)源在靠門的位置，那么蒸發(fā)的分布應(yīng)該就比較均勻了。
另外真空度也有關(guān)系，真空也會影響膜層分布。 _sU|