機型:OPTORUN1850 ov\HsTeZ  
AS膜厚15nm. d;+[i  
外圈AS可達規(guī)水接觸角110度，但是內圈都達不到，有什么改善方法嗎? WW@d:R  
懇求指教!!!

蒸發(fā)源抬高試一試？或者增加厚度

蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴散泵的方向走的。 Xq4|uuS-O  
如果蒸發(fā)源在靠門的位置，那么蒸發(fā)的分布應該就比較均勻了。 vOgC>_x7  
.4l/_4,s_  
另外真空度也有關系，真空也會影響膜層分布。 t]-uw-E  
你可以試著空抽幾分鐘后再開阻蒸

路過學習看看呢

學習看看呢

ouyuu:蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴散泵的方向走的。 keqcV23k  
如果蒸發(fā)源在靠門的位置，那么蒸發(fā)的分布應該就比較均勻了。
另外真空度也有關系，真空也會影響膜層分布。 Qu~*46?0  
你可以試著空抽幾分鐘后再開阻蒸 (2022-12-01 21:36)  PCfo  

G{c#\?12C  
真空度是越低較好，還是越高較好?

聯(lián)系我   YKWQAZWSX Gq]d:-7l  

danieltsai06:真空度是越低較好，還是越高較好? (2022-12-05 11:08)  #>q[oie1e  

I*c;hfu  
真空度代表了蒸發(fā)源的平均自由程，平均自由程影響分布。 g8Aj `O  
真空度越高平均自由程越大，這樣到達遠端的材料就越多。 Ej|A ; &E  
b"P&+c  
只能說影響分布，具體分布哪部分增多哪部分減少， 'bm:u  
還要看具體的蒸發(fā)源位置，傘形，傘的高度，排氣口高度等等

換材料，增加厚度

厚度不夠，換材料