au'Zjj/Ai5  
光學(xué)干涉裝置廣泛用于精密的表面或波前測試和細(xì)節(jié)分析，特別是菲索干涉儀作為工業(yè)上應(yīng)用最廣泛的表面輪廓檢測技術(shù)之一，正占據(jù)著重要的地位。我們在VirtualLab Fusion中構(gòu)建了一個(gè)基于斐索干涉儀的測試光學(xué)系統(tǒng)，使用幾種類型的表面作為測試對象，并觀察不同的干涉條紋。此外，還介紹了用于鏡頭測試的馬赫-曾德爾干涉儀。 6]#pPk8[Z  
     )h-Q
i#{  
     `~'yy q  
利用非序列場追跡技術(shù)建立了菲索干涉儀，給出了不同測試表面的干涉條紋。 5\Sm^t|Tx  
8 ;oU{  
epa)~/sA  
     Pl4$`Qw#y  
我們在VirtualLab Fusion中構(gòu)建了馬赫-曾德爾干涉儀，并演示了元件的傾斜和偏移對干涉條紋的影響