m-#d8sD2C  
Design Tool中，EdgeFilter的功能是可以用來幫助設(shè)計(jì)邊緣濾波器的結(jié)構(gòu)。一個(gè)簡單的邊緣濾波器是基于四分之一堆棧的，在基板和入射介質(zhì)旁邊的幾個(gè)匹配層可以用來抑制通帶波紋。當(dāng)傾斜時(shí)，高反射率區(qū)的寬度對S偏振光有增大的趨勢，對P偏振光有減小的趨勢，導(dǎo)致偏振分離。四分之一波長堆棧不容易得到顯著改善，但是Thelen 已經(jīng)表明五層對稱周期是可以作為邊緣濾波器的基礎(chǔ)的，其中p和s偏振邊緣可以重合。嚴(yán)格來說，這只是在一個(gè)入射角，但經(jīng)驗(yàn)表明，在一定角度范圍內(nèi)分裂非常小。邊緣濾波器工具可以找到這樣一個(gè)對稱的周期，并設(shè)計(jì)一個(gè)非偏振邊緣濾波器。該工具使用迭代技術(shù)來識(shí)別所有可能的組合，并找到通帶寬度和禁帶寬度的最佳組合，但是后者受到一定限制。 %,E7vYjT%  
gU*I;s>  
圖1顯示了參數(shù)對話框。設(shè)置了兩種材料的五層周期，入射角，入射介質(zhì)和周期數(shù)。該工具沒有解決紋波問題，如圖2所示。在這里，用SiO2當(dāng)最外層最好。最后一步是鎖定所有層，然后對一些最外層進(jìn)行優(yōu)化以減少波紋。在這種特殊情況下，每側(cè)的12個(gè)層都經(jīng)過了優(yōu)化，以得到圖3中的性能。 zN/Gy}  
0Cv4/Ar(  
g&8