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通常，計算模型中假設(shè)的理想化結(jié)果明顯偏離現(xiàn)實。 其中一個例子是在蝕刻結(jié)構(gòu)中具有尖銳邊界的微結(jié)構(gòu)的設(shè)計：制造技術(shù)不能實現(xiàn)完美的銳利壁，而是產(chǎn)生更圓的邊緣。 該可編程模塊應用于所設(shè)計結(jié)構(gòu)的銳利結(jié)果，根據(jù)用戶指定的值對其邊緣進行圓整，以便分析更真實的結(jié)構(gòu)。 ;B(;2.<"J  
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用于平滑結(jié)構(gòu)邊緣的可編程模塊 {XyG1  
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提示：模塊的輸入與輸出是“DataArray（數(shù)據(jù)數(shù)組）”類型。您可通過查看附帶的樣本文件得到全部代碼。 9 4 "f