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亞光波長光柵在用傍軸光照射時(shí)僅產(chǎn)生一個(gè)衍射級(jí),因此在這種情況下不會(huì)形成圖像。 為了克服此問題,可以使用非傍軸照明。在本例中,高NA聚光透鏡被用來為不同輪廓的光柵提供高聚焦照明,衍射場(chǎng)被另一個(gè)高NA物鏡收集。 VirtualLab可以模擬這種成像過程,包括用傅立葉模態(tài)法精確模擬亞波長光柵。 V^E.9fs, <L>$Y#wU 2. ·建模任務(wù) /d-d8n
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M 3. 結(jié)果 5$Da\?Fpn :vRUb>z
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