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ZEMAX光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)實(shí)戰(zhàn)	Zemax光學(xué)設(shè)計(jì)從基礎(chǔ)到實(shí)踐	成像衍射光學(xué)元件設(shè)計(jì)及應(yīng)用	現(xiàn)代光學(xué)與光子學(xué)技術(shù)
訊技光電:VirtualLab Fusion獨(dú)家供應(yīng)商	微小光學(xué)與微透鏡陣列	光學(xué)設(shè)計(jì)與光學(xué)元件	計(jì)算光學(xué)帶來的成像革命

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[討論]關(guān)于高速超精密激光干涉儀 [復(fù)制鏈接]

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離線gangzi0801

技術(shù)專家

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2023-02-17

關(guān)鍵詞：激光干涉儀

哈工大成功研制出了高速超精密激光干涉儀，目前可用于350nm到28nm工藝的光刻機(jī)樣機(jī)集成研制和性能測試，意味著我們離光刻機(jī)又近了一步。

大家一起來交流一下，關(guān)于高速超精密激光干涉儀的知識(shí)和技術(shù)吧。

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