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    [技術]導出制造數(shù)據 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-03-16
    光整形>衍射光學 [tT_ z<e`  
    Y'{}L@"t  
    任務說明 jG~-V<&  
    Xdi<V_!BC-  
    <2d)4@B=  
    \ZM5J  
    靈活地導出制造數(shù)據： B(WmJ6e  
    - 平滑的界面 yAAV,?:o[  
    - 量化界面 4E2#krE%  
    - 鏡子/棱鏡/光柵單元陣列 o}DR p4;Ka  
     mPU}]1*p  
    亮點 n }b{u@$  
     導出各種表面形狀的制造數(shù)據 ic5af"/(\  
     導出像光刻制造技術的二元掩膜的量化界面 eR4ib-nS  
         p>,D F9W`  
    tnAj3wc  
    一般界面的制造數(shù)據 E mg=,  
    \q?^DI:`   
    : tBe/(e4#  
    Ni8%K6]z  
    支持文件格式： t{g@z3  
    - 純文本 L(bDk'zi  
    - ASCII碼 X!:J1'FE  
    - 點云 :pM)I5MN[  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） d5NE:%K  
     118lb]  
    STL導出平滑界面（例如Asphere） +m]-)  
    S{?l/*Il*_  
    采樣高度剖面的STL導出 #1%ahPhR+  
    wK0x\V6dJ  
    (a0(ZOKH  
    4qQE9f xdY  
    量化界面的GDSII導出 ~;jgl_5?b  
     量化的界面數(shù)據可以直接導出到GDSII的文件格式。 Auc&dpW  
     這個文件格式主要是用于，如光刻曝光技術。 V@]SKbK}wN  
    )u+O~Y95&i  
    CuK>1_Dq  
     
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