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[討論]求助各位大佬，怎么才能過雙85環(huán)測？ [復制鏈接]

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離線tfcalc68

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2023-03-17

用MGF2+H4這兩種材料，什么工藝才能過雙85環(huán)測呀？
目前試過：設定溫度320℃，MGF2速率3.0A/S，H4速率1.5A/S，最后鍍15nm SIO2，速率1.5A/S，MGF2打底層，高溫高濕脫膜，看上去像是最外層膜脫落