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    [求助]關于ALD鍍SiO2薄膜后，薄膜性能如何？ [復制鏈接]

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    離線lu5253
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-03-27
    關于ALD鍍SiO2薄膜后，薄膜性能如何？例如在電學性能，折射率、消光系數(shù)以及鍍膜后應力等方面的性能。
     
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