Ito蒸鍍條件，功率，氣體導(dǎo)入，有什么標(biāo)準(zhǔn)？大神們

一般情況下基底溫度越高透過越高，阻值越大，充氧流量越大，透過越高，阻值越大，厚度變化會(huì)導(dǎo)致透過率周期性變化，這個(gè)根據(jù)試驗(yàn)確定即可

yzhuang:一般情況下基底溫度越高透過越高，阻值越大，充氧流量越大，透過越高，阻值越大，厚度變化會(huì)導(dǎo)致透過率周期性變化，這個(gè)根據(jù)試驗(yàn)確定即可 (2023-03-30 10:16)  tuuc9H4B  

h_ef@ZwSw  
所以透過和電阻是魚和熊掌。如果希望透過高電阻小

Ito蒸鍍條件，功率，氣體導(dǎo)入，有什么標(biāo)準(zhǔn)？大神們