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測量系統(tǒng) "FLD%3l hX'z]Am< 應(yīng)用示例簡述 >~^mIu_BH ;QvvU[eb 1. 系統(tǒng)說明 ?C#F?N0 s$DT.cvO 光源 +aXk^+~j — 氦氖激光器(波長632.8nm;相干長度>1m) YP
.%CD(K 元件 :Z*02JwK — 分束器和合束器,消色差準(zhǔn)直透鏡系統(tǒng),位相延遲器,待測球面透鏡 @y;tk$e 探測器 Us@ {w`T — 干涉條紋 SS45<!iy 建模/設(shè)計(jì) 3
4A&LBwC — 光線追跡:初始系統(tǒng)概覽 mNBpb} — 幾何場追跡加(GFT+): r=P$iG'& 計(jì)算干涉條紋。 _I
-0, 分析對齊誤差的影響。 @tjZvRtZ %DND&0` 2. 系統(tǒng)說明 =xlYQ}-(a 9rf|r
3 參考光路 I")"s ?O.6
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