關(guān)鍵詞：光線追跡，高數(shù)值孔徑，點(diǎn)列圖，光斑尺寸

1. 描述

■ 該案例中闡述了如何利用VirtualLab對(duì)一個(gè)具有高數(shù)值孔徑的透鏡系統(tǒng)進(jìn)行分析。

■ 我們將對(duì)焦面前和焦面上對(duì)三維光線結(jié)構(gòu)和二維點(diǎn)列圖進(jìn)行討論。

■ 此外，VirtualLab可用于測(cè)量焦平面上的光斑尺寸。

2. 系統(tǒng)

3. 透鏡系統(tǒng)組件編輯

■ 在光路視圖中雙擊透鏡系統(tǒng)元件，可以顯示元件編輯窗口。

■ 透鏡系統(tǒng)是由序列光學(xué)表面（OIS）定義的。

■ 每一個(gè)可選項(xiàng)都有獨(dú)立的參數(shù)，并可以設(shè)定。

■ 包括序列光學(xué)表面和光學(xué)介質(zhì)。

4. 光線追跡系統(tǒng)分析器-選項(xiàng)

■ 分析器允許用戶指定使用光源的光線選項(xiàng)。

■ 可以選擇選取光線的方法：

— 在x-y-網(wǎng)格

— 六邊形

— 自由選取

■ 每一個(gè)可選項(xiàng)都有獨(dú)立的參數(shù)，并可以設(shè)定。

5. 系統(tǒng)的3維視圖

6. 其他系統(tǒng)參數(shù)

■ 系統(tǒng)由單色平面波照明

■ 照明波長(zhǎng)266.08nm

■ 后端的探測(cè)器用來分析透鏡系統(tǒng)的性能：

— 一個(gè)虛擬屏直接放在透鏡系統(tǒng)后面。

— 一個(gè)虛擬屏位于焦平面

— 光束尺寸探測(cè)器置于焦平面

■ 焦平面位于透鏡系統(tǒng)后端748.86um處。

7. 光線追跡系統(tǒng)分析器的結(jié)果

8. 透鏡系統(tǒng)后虛擬屏的結(jié)果

■ VirtualLab可用于計(jì)算點(diǎn)列圖。

■ 左側(cè)圖片顯示了直接位于透鏡后的虛擬屏所獲得的點(diǎn)列圖。

■ 默認(rèn)情況下光線顯示的顏色比此波長(zhǎng)的顏色。本案例中我們使用的是非可見光。

■ 你可以通過下面的操作將背景顏色該為白色

9. 焦平面上的結(jié)果

■ 在左側(cè)圖片中可以看到焦平面上計(jì)算出的點(diǎn)列圖。

■ 在探測(cè)器結(jié)果（Detector Result） 標(biāo)簽下，給出了光束尺寸。

■ 焦平面上的光斑尺寸為183mm

■ 此外，背景顏色也可以預(yù)先設(shè)置。

■ 該測(cè)量采用均方根（RMS）計(jì)算法。

10. 總結(jié)

■ VirtualLab Fusion 可利用新的光線追跡引擎對(duì)復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行分析。

■ 利用三維光線追跡我們可以對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行分析，并對(duì)位置等信息進(jìn)行概覽。

■ 此外，系統(tǒng)可以直接利用光線追跡引擎進(jìn)行分析。

■ 可用于評(píng)價(jià)點(diǎn)列圖，也可以附加其他探測(cè)器（如光斑尺寸探測(cè)器）。