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- 注冊時間2020-06-19
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摘要： q_ OY sg RI7qsm6RN VirtualLab (VL) 為用戶提供了一個好的指導方法以用于創(chuàng)建光學系統來對期望的光柵進行分析。 R;5 QD` 該案例主要對一個線性正弦光柵(周期在一個方向)的近場和透射衍射級次的效率進行了基礎研究。 AycA :< eA;j/&qH 兩種不同周期線性正弦光柵結果的對比: ~GsH8yA_P 光柵周期遠大于波長 n#/U@qVgc 光柵周期在波長范圍 5p N08+
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建模任務 -;W\f<q]
fJ|Bu("N M9ter&
多次反射 f D]An<
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■ 傅里葉模態(tài)方法是一種嚴格的方法，它考慮了光柵元件內部多次反射。 ?trt4Tbe/
■ 光柵工具箱通常默認輸入光為無限擴展的平面波。 "OlI-^y
■ 對于這樣的無限平面波，其相應的多次反射效應會對結果產生不同的影響，當輸入光尺寸有限時，其多重反射效應消退的更明顯。因此在某些情況下，我們希望忽略這些多次反射。 sk %:Sp
■ 例如，如果你對一個周期性表面的影響感興趣– 如本案例中–由于單一相應介質轉換，可對該效應進行研究。 9 >} (]T
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無多次反射的研究 _Oaso > ■ 我們在基底內部設置探測器, 直接位于光柵結構后方。 :*w:eKk
4u{ E D( ■ 盡管光源和光柵元件以及光柵元件和虛擬屏間距離設置為0，但必須設置介質，這樣才能保證正確的轉換。 >k&lGF<nl
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計算 "cz]bCr8
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■ VirtualLab的光柵工具箱提供十分精細的不同顯示選項的評估工具。 (f Lbg,
■ 該文件中展示了這些功能中的一部分。 MIM PJXT#.
■ 這里有一些下載的用戶案例文檔，詳細地解釋了這些不同工具特殊操作。只需要所搜你感興趣的對應關鍵詞即可。 a_#eGe>
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周期為10um的光柵結果 MM58w3Mz
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近場 yrv SbqR
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近場位相值(周期=10µm) SJ|.% gn 3個周期的近場正弦位相分步，由于一個恒等的相位偏移，相位分布具有一個2Pi系數階步。 h}VYA\+<B HU.6L 'H* ■ 場的振幅變化很小。 URzE+8m^
+
1%^c (3 ■ 在078~0.86的范圍內。 gV. Pg[[1
cE8 _keR~
不同放大倍率顯示  ~>-;(YU"t 數值的表格顯示 L 5N{ie_
級次計算(周期=10µm) ST [1'T+L
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近場位相值(周期=1µm) 5$G??="K
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WatLAn+
■ 再次顯示3個周期。 9PfU'm|h
■ 由于共振效應，具有小尺寸結構的光柵不在產生正弦位相分布。 U\G Z
>u#VHaB ■ 振幅同樣劇烈地改變。 h}< ZZ ■ 此時變化范圍從0.2 ~ 1.2. S7>gNE;%]u ■ 這是光柵周期趨近于波長量級時的典型現象。 r{jD, x2
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說明 cZT .vA#
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該案例中波長532nm,光柵周期1um，即結構在波長范圍內，通常要求采用傅里葉模態(tài)法進行嚴格分析。 0BD((oNg
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因此VirtualLab非常適合這樣的研究工作。 A+E@OO
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