該應(yīng)用案例描述了具有亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴(yán)格分析以及一個(gè)兩步優(yōu)化。此外，對(duì)圓柱直徑與高度的影響進(jìn)行了分析。 1. 建模任務(wù) 2. 建模任務(wù):介質(zhì)參數(shù) 3. 結(jié)構(gòu)參數(shù) 優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù)： 1. 圓柱的水平間距：250nm 2. 圓柱的垂直間距：125nm 3. 列距：125nm 優(yōu)化過程中變化的參數(shù)： 1. 圓柱高度(圓柱直徑= ) 2. 圓柱直徑(柱高來自1中優(yōu)化結(jié)果) 4. 3維柱型結(jié)構(gòu)的建模 VirtualLab為設(shè)計(jì)3 維柱型結(jié)構(gòu)提供任意選項(xiàng)。 在LightTrans 定義的庫中可以選擇不同的柱型和基底材料。 如，可選擇矩形柱或橢圓柱。 通過選擇足夠的柱間距和適當(dāng)?shù)摹傲芯唷保蓪?shí)現(xiàn)多種橫向布局(如矩形或六邊形)。 5. 柱高的優(yōu)化 利用參數(shù)運(yùn)行文檔，找到最佳的柱高(最低的反射率) 反射率最低值在維持在~110nm的柱高范圍內(nèi)(對(duì)于正入社的TM偏振光)。 6. 柱直徑的優(yōu)化 相似的參數(shù)運(yùn)行可顯示最佳的柱直徑(考慮到優(yōu)化柱高)。 反射率最低值在柱直徑~140nm處獲得(對(duì)于正入社的TM偏振光)。 7. 優(yōu)化后柱型光柵結(jié)構(gòu)的結(jié)果 柱高：110nm 柱直徑：140nm 8. 角度關(guān)系的分析 當(dāng)入射角小于50°時(shí)，抗反射結(jié)構(gòu)顯著的降低反射率(近似于0)。 由于采用偏振光(TM)，以55°入射在無柱狀抗反射結(jié)構(gòu)的平面上時(shí)，反射率為0(所謂的布儒斯特角)。 9. 波長(zhǎng)靈敏度分析 抗反射結(jié)構(gòu)在寬光譜范圍內(nèi)(可見光范圍)降低了反射率，此處顯示的是垂直入射。 利用在532nm的優(yōu)化策略使反射率最低值出現(xiàn)在532nm處 10. 總結(jié) VirtualLab中的光柵工具箱可對(duì)亞波長(zhǎng)兩級(jí)的3維光柵結(jié)構(gòu)進(jìn)行嚴(yán)格的分析。 這種分析采用了VirtualLab光柵工具箱中的全矢量傅里葉模態(tài)法。 利用參數(shù)運(yùn)行，可進(jìn)行光柵參數(shù)的優(yōu)化以及光學(xué)函數(shù)的執(zhí)行。 利用參數(shù)運(yùn)行功能，也可對(duì)3維周期結(jié)構(gòu)與入射角度和波長(zhǎng)的關(guān)系進(jìn)行分析。 | 
