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關(guān)鍵詞: 衍射光學(xué)元件、DOE、高數(shù)值孔徑,畸變補(bǔ)償,幾何畸變,枕形,桶形,強(qiáng)度衰減,功率、陡降、損耗、預(yù)備信號(hào)場、光圖形、迭代傅里葉變換算法、IFTA、模組、分束器、衍射 !_dR' ywEDy|Wn$~ 1. 摘要 HVGr-/ PPj[;(A 通過該案例闡述了如何利用迭代傅里葉變換算法進(jìn)行高數(shù)值孔徑衍射分束器設(shè)計(jì)。 UW/N MjK 通過來分束器可以生成一個(gè)5x5規(guī)則的點(diǎn)陣圖形。 <raG07{!* 然而,由于偏轉(zhuǎn)角較大使得目標(biāo)平面上這個(gè)規(guī)則的5x5點(diǎn)陣圖案產(chǎn)生了一個(gè)形變。 ESIzGaM 可以利用VirtualLab 模塊 Mod014 在迭代傅里葉變換算法設(shè)計(jì)中預(yù)補(bǔ)償該圖形的形變。 U@?6*,b(. |!Fk2Je, 2. 設(shè)計(jì)任務(wù):規(guī)則的5×5光束分束器 J\{$ot s^cc@C 74_xR 設(shè)計(jì)衍射分束器用于在衍射元件遠(yuǎn)場生成規(guī)則的高數(shù)值孔徑光圖形。 ^dfx~C 最大衍射角(水平/豎直):α=β=22.3° bDWeU} 最大衍射角(對角線)=30.1° Y208b?=9w hiwIWd:H 3. 設(shè)計(jì)任務(wù) |sf*hlrJ ?PH/?QP 光源參數(shù): JKy#j g:# — 高斯光源波長:532nm {6O0.}q]& — 光束直徑(1/e2):80um kaQ2A 系統(tǒng)參數(shù): /C$
xH@bb — 衍射元件到屏幕距離:z=0.3m bxwkTKr' 期望輸出場: rl?7W]; — 期望點(diǎn)圖形:規(guī)則圖形,5×5的點(diǎn)陣 w<t,j~ Pr# — 級(jí)次間距:49.2mm q (>c`5 — 目標(biāo)圖案依據(jù)示例文件 JMlV@t7y< “Sc386_TargetPattern_1.ca2” xmr|'}Pt[ DOE參數(shù): -;pOh;WG — 僅改變位相的衍射光學(xué)元件 2\0Oji\6 — 離散DOE的位相階數(shù):4 Q\9K2=4 5/MED}9C( 4. 點(diǎn)圖形的變形 |pW\Ec#( .Xd0
Q=1h 衍射元件通常是在等間距的計(jì)算網(wǎng)格上利用角譜域的迭代傅里葉變換算法完成設(shè)計(jì)。 G
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