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    [技術(shù)]利用光線追跡分析高數(shù)值孔徑透鏡系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-05-10
    關(guān)鍵詞：光線追跡，高數(shù)值孔徑，點列圖，光斑尺寸 IQ_2(8Kv  
     6XyhOs%/  
    1. 描述 v%O KOrJ  
    ■ 該案例中闡述了如何利用VirtualLab對一個具有高數(shù)值孔徑的透鏡系統(tǒng)進行分析。 b4`t, D  
    ■ 我們將對焦面前和焦面上對三維光線結(jié)構(gòu)和二維點列圖進行討論。 Vae}:8'}  
    ■ 此外，VirtualLab可用于測量焦平面上的光斑尺寸。 l);M(<  
     ~"eos~AuW  
    2. 系統(tǒng) o*OYZ/_L  
    1eue.iuQ  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    $j61IL3+  
    3. 透鏡系統(tǒng)組件編輯 cVjs-Xf7D%  
     JvFd2@  
    ■ 在光路視圖中雙擊透鏡系統(tǒng)元件，可以顯示元件編輯窗口。 9\9:)q  
    ■ 透鏡系統(tǒng)是由序列光學(xué)表面（OIS）定義的。 nNNs3h(Ss  
    ■ 每一個可選項都有獨立的參數(shù)，并可以設(shè)定。 QkbXm[K.Z  
    ■ 包括序列光學(xué)表面和光學(xué)介質(zhì)。 HGqT"N Jr  
     1} 1.5[4d  
    ?@"F\Bv<h  
    4. 光線追跡系統(tǒng)分析器-選項 &DoYz[q  
    &NbhQY`k  
    Q)eYJP=W  
    ■ 分析器允許用戶指定使用光源的光線選項。 eZes) &4  
    ■ 可以選擇選取光線的方法： Db"jzMW.  
    — 在x-y-網(wǎng)格 8Jnb/A}  
    — 六邊形 IC&>PwXb  
    — 自由選取 ];& @T\Rj  
    ■ 每一個可選項都有獨立的參數(shù)，并可以設(shè)定。     @=CN#D12  
    jWHv9XtW  
    5. 系統(tǒng)的3維視圖 3^m0 k E  
    eXo7_#  
    &h1.9AO  
    6. 其他系統(tǒng)參數(shù) N!R>L{H>  
    ■ 系統(tǒng)由單色平面波照明 'qR)f\em  
    ■ 照明波長266.08nm *?sdWRbu}l  
    ■ 后端的探測器用來分析透鏡系統(tǒng)的性能： [(Z{5gK  
    — 一個虛擬屏直接放在透鏡系統(tǒng)后面。 Ox .6]W~  
    — 一個虛擬屏位于焦平面 zN2CI6  
    — 光束尺寸探測器置于焦平面 Z$qLY<aV  
    ■ 焦平面位于透鏡系統(tǒng)后端748.86um處。 t>nx#ErS  
    >bQ'*!  
    X@l>mAk  
    Q<4Sd:P`"  
    fTb&k;'LR<  
    7. 光線追跡系統(tǒng)分析器的結(jié)果 P)7:G?OTx  
    FbH 1yz  
    光線經(jīng)過整個光學(xué)系統(tǒng)的三維視圖
    YN.[KQ(!  
    光線經(jīng)過整個光學(xué)系統(tǒng)的三維視圖（局部放大）
    sfb)iH|sW  
    p0c*)_a*  
    A HnXN%m  
    '3B"@^]  
    {O24:'K&  
    Y3%_IwSJ|  
    8. 透鏡系統(tǒng)后虛擬屏的結(jié)果 dM n0nc+  
    7$"{&