1. 建模任務(wù) 在該應(yīng)用案例中,介紹了理想微結(jié)構(gòu)反射鏡的建模及利用邊界響應(yīng)函數(shù)對(duì)其進(jìn)行分析。并在實(shí)例中建立了微結(jié)構(gòu)激光光束整形反射鏡。 2. 理想微結(jié)構(gòu)反射鏡模型 理想微結(jié)構(gòu)反射鏡可通過理想平面反射鏡(ideal plane mirror)和存儲(chǔ)函數(shù)(stored function)組件進(jìn)行建模。 存儲(chǔ)函數(shù)(stored function)中包含反射鏡的反射方程。 理想平面鏡須與微結(jié)構(gòu)反射鏡保持一致的傾斜。 存儲(chǔ)函數(shù)(stored function)傾斜至理想平面反射鏡(ideal plane mirror),并具有一定誤差。 利用存儲(chǔ)函數(shù)的傾斜函數(shù)旋轉(zhuǎn)反射鏡,同時(shí)保證在通過理想反射鏡后光軸方向不變。 3. 場(chǎng)旋轉(zhuǎn) 傾斜存儲(chǔ)函數(shù)的仿真需要將入射場(chǎng)的傳輸?shù)剑ǚ瓷溏R)平面上。 由于通過微結(jié)構(gòu)反射鏡后會(huì)出現(xiàn)較強(qiáng)的衍射效應(yīng),因此場(chǎng)旋轉(zhuǎn)傳播通常需要物理光學(xué)傳播。 存儲(chǔ)函數(shù)(store function)后,存儲(chǔ)函數(shù)元件(stored function component)和恒等算子(identity operator)的場(chǎng)旋轉(zhuǎn)傳輸必須改變,以確保該旋轉(zhuǎn)傳輸在通過存儲(chǔ)函數(shù)前后均為物理光學(xué)傳輸方法。 4. 反射鏡的反射函數(shù) 5. 光路圖 6. 模擬結(jié)果 目標(biāo)平面上的圓形平頂光 平頂直徑3mm。 7. 結(jié)論 VirtualLab™可以利用折射函數(shù),完成理想微結(jié)構(gòu)反射鏡的模擬。 反射函數(shù)能夠模擬反射鏡振幅和相位調(diào)制隨(x,y)位置的變化情況。 為獲得精確的仿真結(jié)果,通常需要物理光學(xué)場(chǎng)旋轉(zhuǎn)。 |