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簡介 8dPDs#Zl nXU`^< nA 本文提出并演示了一種以二維光柵耦出的光瞳擴(kuò)展（EPE）系統(tǒng)優(yōu)化和公差分析的仿真方法。 g=#Cc(
q ke2zxX2 f 在這個工作流程中，我們將使用3個軟件進(jìn)行不同的工作 ，以實(shí)現(xiàn)優(yōu)化系統(tǒng)的大目標(biāo)。首先，我們使用 Lumerical 構(gòu)建光柵模型并使用 RCWA 進(jìn)行仿真。其次，我們在 OpticStudio 中構(gòu)建完整的出瞳擴(kuò)展系統(tǒng)，并動態(tài)鏈接到 Lumerical 以集成精確的光柵模型。最后，optiSLang 用于通過修改光柵模型來全面控制系統(tǒng)級優(yōu)化，以實(shí)現(xiàn)整個出瞳擴(kuò)展系統(tǒng)所需的光學(xué)性能。 Wi U-syNh 6Qc
*:(GE 本篇文章將分為上下兩個部分。（聯(lián)系我們獲取文章附件） \wjT|z1+Y :)9CG!2y<M 概述 SEKR`2Zz,
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