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簡(jiǎn)介 LDSbd,GF K
oL%}u& 本文提出并演示了一種以二維光柵耦出的光瞳擴(kuò)展（EPE）系統(tǒng)優(yōu)化和公差分析的仿真方法。 |oB]6VS` i@%L_[MtA 在這個(gè)工作流程中，我們將使用3個(gè)軟件進(jìn)行不同的工作 ，以實(shí)現(xiàn)優(yōu)化系統(tǒng)的大目標(biāo)。首先，我們使用 Lumerical 構(gòu)建光柵模型并使用 RCWA 進(jìn)行仿真。其次，我們?cè)?OpticStudio 中構(gòu)建完整的出瞳擴(kuò)展系統(tǒng)，并動(dòng)態(tài)鏈接到 Lumerical 以集成精確的光柵模型。最后，optiSLang 用于通過(guò)修改光柵模型來(lái)全面控制系統(tǒng)級(jí)優(yōu)化，以實(shí)現(xiàn)整個(gè)出瞳擴(kuò)展系統(tǒng)所需的光學(xué)性能。 lK 9s 0t' /Ir 7
DZK 本篇文章將分為上下兩個(gè)部分。（聯(lián)系我們獲取文章附件） E
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