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簡介 M\Ye<Tk rlSeu5X6 本文提出并演示了一種以二維光柵耦出的光瞳擴(kuò)展(EPE)系統(tǒng)優(yōu)化和公差分析的仿真方法。 q Y?j#fzi 4yr'W8X_ 在這個(gè)工作流程中,我們將使用3個(gè)軟件進(jìn)行不同的工作 ,以實(shí)現(xiàn)優(yōu)化系統(tǒng)的大目標(biāo)。首先,我們使用 Lumerical 構(gòu)建光柵模型并使用 RCWA 進(jìn)行仿真。其次,我們在 OpticStudio 中構(gòu)建完整的出瞳擴(kuò)展系統(tǒng),并動(dòng)態(tài)鏈接到 Lumerical 以集成精確的光柵模型。最后,optiSLang 用于通過修改光柵模型來全面控制系統(tǒng)級優(yōu)化,以實(shí)現(xiàn)整個(gè)出瞳擴(kuò)展系統(tǒng)所需的光學(xué)性能。 a![{M<Y~ B7E:{9l~s{ 本篇文章分為上下兩個(gè)部分(點(diǎn)此查看上部分) ,下將詳細(xì)描述“第3步:優(yōu)化設(shè)置的內(nèi)容”。(聯(lián)系我們獲取文章附件) tpQ(g% r1{@Ucw2 概述 u.m[u)HQ yg=q;Z>[~ 我們將首先在 Lumerical 和 OpticStudio 中構(gòu)建仿真系統(tǒng),它們是動(dòng)態(tài)鏈接的。 g(7rTyp4) #rQ2gx4 然后,OpticStudio 通過 Python 節(jié)點(diǎn)鏈接到 optiSLang 進(jìn)行優(yōu)化,如圖1所示。 2*l/3VW 6Vnsi%{ U,{eHe ?>T J$w<$5UY 圖1 Lumerical通 過動(dòng)態(tài)鏈接到 OpticStudio,OpticStudio 通過 Python 節(jié)點(diǎn)鏈接到 optiSLang,優(yōu)化由 optiSLang 控制。 U@)eTHv}6 ,~@X{7U
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