Simulator是Essential Macleod的新增功能, 可以幫助我們回答這個問題。 光學薄膜中的公差評定是個實際問題。沒有一個好的、通用的分析技術。Essential Macleod里的一個簡單工具-Errors, 假定所有膜層中的厚度誤差都是隨機的,能夠顯示在許多薄膜中獨立控制命令不可能精確,而用其它的方法確實能夠構造這些薄膜。實事上,公差和誤差的影響很大程度上依賴于控制技術。通過將誤差的Monte Carlo近似擴展到控制過程的實際模型中去,Simulator解決了公差問題。 使用由Runsheet創(chuàng)建的控制設計, Simulator模擬沉積的控制,同時引入隨機和系統(tǒng)效應,如信號中的噪聲,加工因素的不同,材料密度誤差等等,并且顯示這些參數對最后模擬的薄膜產品的影響。 Simulator比簡單的監(jiān)控問題回答得更多。所有與薄膜系統(tǒng)有關的其它的參數都可以轉換成檢查模擬和它們影響的參數。Simulator的結果顯示,在沒有改變系統(tǒng)中噪聲或精度時,某一膜層的監(jiān)控過程中的一個小小改變,對DWDM應用的多腔分束器的設計中,能否引起實質性的改進。 注:要Simulator操作正確,Runsheet提高必須也存在。 |