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白光干涉測(cè)量法是一種非接觸式技術(shù),用于精確測(cè)量,例如表面輪廓和微小位移。使用邁克爾遜干涉儀設(shè)置和氙燈光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉測(cè)量?紤]到光源的光譜特性,即有限的相干長(zhǎng)度,結(jié)果顯示僅當(dāng)兩個(gè)臂的路徑長(zhǎng)度幾乎相同時(shí)才出現(xiàn)干涉圖案。 )muv;Rf`e5 OUKj@~T K;kLQ2) 1. 建模任務(wù) Bzwx0c2VY8 z'v9j_\ 2. 干涉條紋的變化 Dl@{}9 vzQyE0T/ \c'%4Ao 3. VirtualLab Fusion概覽 s=}~Q&8 gtl;P_ ,$SkaTBe 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 ]s}aC9I 設(shè)置輸入場(chǎng) y>&VtN{E - Basic Source Models [教程視頻] 012:BZR 定義組件的位置和方向 1pl2;! - Basic Source Models [教程視頻] 6#/LyzZq| 正確設(shè)置通道以進(jìn)行非順序跟蹤 .M`LUb"! - Basic Source Models [使用案例] %j!z\pa 使用參數(shù)運(yùn)行檢查影響/變化 \_)02ZT: - Usage of the Parameter Run Document [用例] G-Zr
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