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白光干涉測量法是一種非接觸式技術(shù),用于精確測量,例如表面輪廓和微小位移。使用邁克爾遜干涉儀設(shè)置和氙燈光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉測量?紤]到光源的光譜特性,即有限的相干長度,結(jié)果顯示僅當(dāng)兩個臂的路徑長度幾乎相同時才出現(xiàn)干涉圖案。 ,W;\6"Iwx' s_}T-%\ QWp,(Mv:r 1. 建模任務(wù) C:
@T5m eQbDs_ 2. 干涉條紋的變化 v}q3_m] `9}\kn-</8 QqA~y$'ut 3. VirtualLab Fusion概覽 E"ijN
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