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白光
干涉
測(cè)量法是一種非接觸式技術(shù),用于精確測(cè)量,例如表面輪廓和微小位移。使用邁克爾遜
干涉儀
設(shè)置和氙燈
光源
,在
VirtualLab
Fusion中演示了白光干涉測(cè)量?紤]到光源的
光譜
特性,即有限的相干長(zhǎng)度,結(jié)果顯示僅當(dāng)兩個(gè)臂的路徑長(zhǎng)度幾乎相同時(shí)才出現(xiàn)干涉圖案。
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