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摘要 `yXy T^ i=+6R 2ZeL 8msDJ{,X F-Theta 透鏡通常用于Galvo類掃描儀的激光材料加工系統(tǒng)。 對(duì)于這樣的鏡頭,聚焦點(diǎn)沿目標(biāo)平面的位移與鏡頭焦距和掃描角度的乘積成正比。然而,沒有完美的 F-Theta 系統(tǒng),因此在任何給定的系統(tǒng)中都會(huì)出現(xiàn)與理想行為的偏差。 借助快速物理光學(xué)建模和設(shè)計(jì)軟件 VirtualLab Fusion 中的掃描源,我們通過測(cè)量不同角度下實(shí)際光斑位置與期望值之間的偏差來分析給定 F-Theta 透鏡的性能。 k:xV[9ev: O=/Tx2i; 任務(wù)描述 _C\b,D}p }tPl?P'` ](D [T H
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