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摘要 v9Sk\9}S $eG_LY 1v
G5K?Q+n
.{*l, F-Theta 透鏡通常用于Galvo類掃描儀的激光材料加工系統(tǒng)。 對(duì)于這樣的鏡頭,聚焦點(diǎn)沿目標(biāo)平面的位移與鏡頭焦距和掃描角度的乘積成正比。然而,沒有完美的 F-Theta 系統(tǒng),因此在任何給定的系統(tǒng)中都會(huì)出現(xiàn)與理想行為的偏差。 借助快速物理光學(xué)建模和設(shè)計(jì)軟件 VirtualLab Fusion 中的掃描源,我們通過(guò)測(cè)量不同角度下實(shí)際光斑位置與期望值之間的偏差來(lái)分析給定 F-Theta 透鏡的性能。 5u;//Cm H9_iTGBQ 任務(wù)描述 ZfH>UHft .P/0`A{&
qNP)oU92 O(!;7v} 系統(tǒng)構(gòu)建模塊 - 掃描光源 D GcpYA.7' W=w]`'
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|] 系統(tǒng)構(gòu)建模塊 – 鏡頭系統(tǒng)組件 1[u{y{9 q doHE]gC2Uz
sxph#E% Mj6,VD9L VirtualLab Fusion技術(shù)系統(tǒng)構(gòu)建塊——參數(shù)耦合 -N wic| VPuR4p.
REE.8_ 系統(tǒng)構(gòu)建模塊——畸變分析器 <tZZ]Y] p9u*l
$fT5Vc]B4 PpBptsb^|J 總結(jié)-組件… 6kLy!QS .ml\z5 oYTLC@98} b @0=&4 /.CS6W^z 系統(tǒng)印象 ;nQ=!
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1zH?.- :i& 9}\|, 性能評(píng)估 – 光斑位置偏差 3*2~#dh= K8MET&
d=%NFCIV LQ4:SV'3 性能評(píng)估 - 光斑直徑測(cè)量 h]t v+\0 SO(BkxV@
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