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    [技術(shù)]使用自定義的評(píng)價(jià)函數(shù)優(yōu)化高NA分束器 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-08-09
    摘要 D^{:UbN  
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    由于相位和結(jié)構(gòu)之間的直接關(guān)系，衍射分束鏡通常采用一定的傍軸近似來設(shè)計(jì)，這些算法也提供了這種近似，反之亦然。在非傍軸或甚至高NA分束器的情況下，這些近似將引入一些不準(zhǔn)確性，因此，如果不進(jìn)行額外嚴(yán)格的后優(yōu)化，至少建議進(jìn)行嚴(yán)格的分析。在這個(gè)用例中，使用奇數(shù)衍射級(jí)對(duì)典型的二元1:6分束器執(zhí)行這樣嚴(yán)格的評(píng)估。為此，對(duì)初始系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了參數(shù)化，并通過可編程光柵分析器定義了一組自定義的評(píng)價(jià)函數(shù)。對(duì)于參數(shù)優(yōu)化和后續(xù)的公差分析，使用嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法 (FMM)。 e2fct|'  
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    建模任務(wù) C] w< &o  
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    衍射分束面初始設(shè)計(jì)(*) k ))*z FV  
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