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    [技術(shù)]使用自定義的評(píng)價(jià)函數(shù)優(yōu)化高NA分束器 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-08-09
    摘要 ]x5+v0   
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    由于相位和結(jié)構(gòu)之間的直接關(guān)系，衍射分束鏡通常采用一定的傍軸近似來設(shè)計(jì)，這些算法也提供了這種近似，反之亦然。在非傍軸或甚至高NA分束器的情況下，這些近似將引入一些不準(zhǔn)確性，因此，如果不進(jìn)行額外嚴(yán)格的后優(yōu)化，至少建議進(jìn)行嚴(yán)格的分析。在這個(gè)用例中，使用奇數(shù)衍射級(jí)對(duì)典型的二元1:6分束器執(zhí)行這樣嚴(yán)格的評(píng)估。為此，對(duì)初始系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了參數(shù)化，并通過可編程光柵分析器定義了一組自定義的評(píng)價(jià)函數(shù)。對(duì)于參數(shù)優(yōu)化和后續(xù)的公差分析，使用嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法 (FMM)。 h.jO3q  
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    建模任務(wù) tA8O( 9OV  
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    衍射分束面初始設(shè)計(jì)(*) r (KAG"5  
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     A/!"+Yfw  
    He*c=^8k  
    1. 采用VirtualLab Fusion的迭代傅里葉變換算法(IFTA)設(shè)計(jì)工具計(jì)算了分束器的初始相位函數(shù)。 5@_kGoqd  
    2. 對(duì)于高度輪廓的轉(zhuǎn)換，采用了基于薄元件近似(TEA)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。 xi[\2g+  
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    (*)不是這個(gè)用例的一部分 (**)這些會(huì)話編輯器在衍射光學(xué)工具箱銀版中可用。 7S2"e[-x  
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    TEA和等距抽樣結(jié)構(gòu)的局限性 ipC <p?PpR  
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     TEA非常適合于最小特征尺寸不小于約5倍波長(zhǎng)的情況。如果不是這樣，振幅/相位分布與設(shè)計(jì)高度輪廓相互作用后可能會(huì)顯示出與期望值的相關(guān)偏差。 {s>V'+H(F  
     因此，需要進(jìn)行嚴(yán)格的評(píng)估。 "\+.S]~