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在本示例中，模擬了衰減相移掩模。 該掩模將線/空間圖案成像到光刻膠中。 掩模的單元格如下圖所示： #B'aU#$u
jNwjK0?
 @ZN^1?][ %or,{mmiM: 掩模的基板被具有兩個開口的吸收材料所覆蓋。在其中一個開口的下方，位于相移區(qū)域。 H?}[r)|(3i
k^$+n _ 由于這個例子是所謂的一維掩模(線/空間模式)，在xy平面中有一個2D仿真域。在源文件中設(shè)置3DTo2D = yes標(biāo)簽，以執(zhí)行用戶自定義傳入方向的自動轉(zhuǎn)換。啟用此標(biāo)記后，就可以描述傳入?yún)^(qū)域，就好像光軸與Z軸重合一樣。這允許統(tǒng)一設(shè)置2D和3D的掩模模擬項(xiàng)目。由于光線從基板下方進(jìn)入，光線的傳輸方向?yàn)?Z方向。 in<Rq"L
FZd.L6q 相位分布如下圖所示： $(s\{(Wn
}],Z;:
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