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    [求助]透過率高低不一致的問題 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-08-10
    此懸賞帖已過期
    最佳答案：20 光幣，熱心助人剩余點(diǎn)數(shù): 1 光幣。
    在8寸的硅晶圓上做一個(gè)中遠(yuǎn)紅外長波通，平面行星盤，用Te和ZnS兩種材料，都用阻蒸蒸發(fā)，不用離子源輔助鍍膜，為什么同一片測出來透過率高低差異會(huì)這么大，而且每次透過率高低分布的規(guī)律都不一樣 toJ&$HrE  
    Lo9?,^S  
     
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    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2023-08-13
    阻蒸的速率不穩(wěn)定吧？用晶控控制的速率還是直接電流控制？