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摘要 kLP^q+$u)! OJaU,vQ# 超構(gòu)光柵通常由具有空間變化參數(shù)的納米柱組成，與傳統(tǒng)光柵相比，它具有優(yōu)越的性能。可以借助支柱介質(zhì)在 VirtualLab Fusion 中設(shè)置此類(lèi)光柵，在本例中，我們將展示如何正確配置超構(gòu)光柵設(shè)置。這包括介質(zhì)、材料的配置、支柱的幾何形狀以及支柱的空間分布。還給出了有關(guān)空間頻率數(shù)量設(shè)置的附加提示。 CDhk!O..
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 YuZnuI@m9 ;uy/Vc5,Y 超構(gòu)光柵結(jié)構(gòu)和建模 3 0Z;}<)9
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u=G VirtualLab Fusion提供： N*#SY$!y Pillar Medium (General)，用于構(gòu)建超構(gòu)光柵和其他類(lèi)似結(jié)構(gòu)，以安排圓形/矩形納米柱的分布; ?`xId;}J#7 Fourier modal method (FMM)用于嚴(yán)格分析由此配置的超構(gòu)光柵在衍射效率，偏振靈敏度等方面的性能。 uB
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