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摘要 \l2 s^7G_ L[bGO|O 超構(gòu)光柵通常由具有空間變化參數(shù)的納米柱組成,與傳統(tǒng)光柵相比,它具有優(yōu)越的性能?梢越柚е橘|(zhì)在 VirtualLab Fusion 中設(shè)置此類光柵,在本例中,我們將展示如何正確配置超構(gòu)光柵設(shè)置。這包括介質(zhì)、材料的配置、支柱的幾何形狀以及支柱的空間分布。還給出了有關(guān)空間頻率數(shù)量設(shè)置的附加提示。 e||_j wtUG2 (
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超構(gòu)光柵結(jié)構(gòu)和建模 %aKkk)s mr1}e
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mqHt%RX nKO&ffb'< VirtualLab Fusion提供: qck/b Pillar Medium (General),用于構(gòu)建超構(gòu)光柵和其他類似結(jié)構(gòu),以安排圓形/矩形納米柱的分布; @ 7?_Yw Fourier modal method (FMM)用于嚴(yán)格分析由此配置的超構(gòu)光柵在衍射效率,偏振靈敏度等方面的性能。 UIl_&| SIlg 光柵周圍介質(zhì)
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