近日，美國化學(xué)會(huì)(ACS)旗下高水平光學(xué)期刊《ACS Photonics》在線發(fā)表了華中科技大學(xué)機(jī)械學(xué)院劉世元教授、朱金龍教授團(tuán)隊(duì)利用自定義結(jié)構(gòu)光場(chǎng)照明有圖形晶圓，實(shí)現(xiàn)集成電路中深亞波長(zhǎng)缺陷的精確定位與分類的研究成果，該工作以“Optical Far-Field Detection of Sub-λ/14 Wide Defects by Conjugate Structured Light-Field Microscopy (c-SIM)（利用共軛結(jié)構(gòu)化光場(chǎng)顯微鏡實(shí)現(xiàn)光學(xué)遠(yuǎn)場(chǎng)下的亞λ/14寬缺陷檢測(cè)）”為題被選為封面論文。機(jī)械學(xué)院2022級(jí)博士生張勁松為該論文第一作者，劉世元教授、朱金龍教授為通訊作者。 RmcQGQ
 
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利用可見光照明對(duì)深亞波長(zhǎng)缺陷進(jìn)行無標(biāo)記、非破壞、實(shí)時(shí)、超分辨探測(cè)是先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)下有圖形晶圓缺陷檢測(cè)所面臨的重大難題。受限于傳統(tǒng)光學(xué)檢測(cè)手段有限的空間分辨率及有圖形晶圓中深亞波長(zhǎng)尺度缺陷的低信噪比，可見光照明時(shí)無法實(shí)現(xiàn)深亞波長(zhǎng)尺度缺陷探測(cè)，這也是時(shí)下產(chǎn)業(yè)界與學(xué)術(shù)界的熱門研究問題。 {'R\C5:D7  
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為克服這一難題，研究團(tuán)隊(duì)提出了一種名為共軛結(jié)構(gòu)光場(chǎng)顯微鏡的新方法，在保留傳統(tǒng)明場(chǎng)顯微鏡大視場(chǎng)、高效率、無損傷等特點(diǎn)的同時(shí)，得益于利用自定義優(yōu)化結(jié)構(gòu)光場(chǎng)進(jìn)行照明，該方法能夠?qū)崿F(xiàn)密集周期納米圖案中亞λ/14寬缺陷的精確定位及分類。在論文中，我們以一組密集的二維周期雙線條納米圖案為例，利用光學(xué)臨近矯正方法優(yōu)化設(shè)計(jì)照明結(jié)構(gòu)光場(chǎng)，對(duì)已預(yù)置缺陷的周期圖案進(jìn)行了仿真檢測(cè)，三種不同的預(yù)置缺陷均被成功檢出。而后，通過掃描結(jié)構(gòu)光場(chǎng)的照明位置，實(shí)現(xiàn)了缺陷的精確定位與分類，且缺陷在差分圖像及梯度圖像中均表現(xiàn)為具有分辨率增強(qiáng)效應(yīng)的擾動(dòng)信號(hào)，分辨率較傳統(tǒng)明場(chǎng)顯微鏡提升一倍。 I]OVzM  
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該研究成果首次將光學(xué)臨近矯正方法引入缺陷檢測(cè)領(lǐng)域，提升了傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的缺陷定位精度，并賦予其缺陷分類的能力，提供了一種高效率、無損傷、易集成、超分辨的有圖形晶圓缺陷方法。