1. 摘要
ytV4qU82G ("=24R=a 共聚焦掃描顯微技術(shù)在1950年代由ML Minsky發(fā)明并獲得
專利,后來以
激光作為
光源,現(xiàn)已得到了廣泛的應(yīng)用。通過使用空間針孔來阻擋離焦平面散射或反射的光, 促進(jìn)提高縱向分辨率和對(duì)比度。 在此示例中,我們?cè)赩irtualLab Fusion中構(gòu)建了一個(gè)共焦掃描
顯微鏡,并使用具有變化的脊和槽的金屬
光柵作為測(cè)試對(duì)象來演示其工作原理。
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|8{\j*3 v,US4C|^3i 2. 建模任務(wù)
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p G@<[fO|Iam 共聚焦掃描顯微鏡是如何工作的,并且探測(cè)功率隨目標(biāo)橫向位移產(chǎn)生的變化?
cQ0+kX< 0 Gq<APtr 7}tXF jLEO-<)-) 3. 聚焦區(qū)域的探測(cè)場(chǎng)
<,9rXjeRl @j%7tfW 5L\Im^ U{HBmSR 4. 來自測(cè)試對(duì)象的直接反射
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