摘要
EvJ<X,Bo Z;"YUu[( 像
光柵這樣的
光學(xué)設(shè)備對光的偏振比較敏感。 因此,在
仿真中適當(dāng)考慮光的偏振非常重要。 在實(shí)際中,光柵有時(shí)會以非偏振光作為輸入。 作為兩個(gè)正交偏振態(tài)的平均值,我們?yōu)槟故玖巳绾卧赩irtualLab Fusion中建模這種用于光柵仿真的非偏振光。 為此,我們提供了示例來說明
軟件中的相應(yīng)設(shè)置。
iTu~Y<'m Q&?^eOI( %s;=H)8 t`!@E#VK 光柵仿真中的非偏振光
"?n;dXYSi •光柵分析
]IM/R@ −對于使用傅立葉模態(tài)方法(FMM / RCWA)的單光柵分析,使用平面波入射來計(jì)算
/hv2=A 例如:作為被研究光柵固有特性的
衍射效率。
=3H*% G)8H9EV •非偏振平面波
<t"KNKI −考慮到沿z方向的平面波,可以將非偏振光視為同一時(shí)間可以處于任何偏振態(tài)。
V/@7XAt −任意偏振態(tài)可以沿兩個(gè)正交基底
投影,并且統(tǒng)計(jì)上,非偏振光沿兩個(gè)正交基底給出相等的投影。
7 ~9Lj −因此,我們可以使用兩個(gè)正交狀態(tài)的平均值,并以非相干方式表示非偏振光。
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