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    [技術(shù)]錐形相位掩模的Talbot像 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-09-21
    摘要 6z~6o0s~  
     O}2;>eH  
    在傳統(tǒng)的Talbot光刻中，在光敏層中僅使用一個(gè)圖像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的兩個(gè)圖像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通過傅立葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）在VirtualLab Fusion中對(duì)具有一層圓錐體的相位掩模進(jìn)行了建模。探測(cè)得到不同的Talbot像，柱狀圖位于主像面上，孔狀圖位于次像面上。 Wq]^1g_  
    oh|Q&R  
     %?K'eg kp  
    wPyfne?~,  
    建模任務(wù) Y\s@'UoVN  
    iOw'NxmY  
     :Oxrw5`=  
    結(jié)構(gòu)和材料參數(shù)來自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) yH irm|o  
     ]5wc8Kh"  
    某一位置的Talbot圖樣 y%f'7YZ4  
    u`g|u:(r  
     (r.[b  
       N_wB  
    某一位置的Talbot圖樣 SIVzc Hm  
    r"c<15g2'  
     &iez{[O  
    |pA3ZWm  
    不同位置的Talbot圖樣 OLTgBXh  
    \s<L2uRj  
     F8KSB"!NR  
    `bNY[Gv>)  
    不同位置的Talbot圖樣 4~4D1  
    4 +Wti!s  
     O(#DaFJv  
    M $ CnaH  
    沿Z軸的強(qiáng)度 V_^p?Fi #  
    %d3qMnYu  
     'b~,/lZd  
    T'!7jgk{:  
    走進(jìn)VirtualLab Fusion jYI\.bc  
    D5^wT>3>  
     "&W80,O3  
    l]C#bL>i  
    VirtualLab Fusion的工作流程 0w)Gb}o$  
    },+ &y^  
     構(gòu)建光柵結(jié)構(gòu)  b"iPuN!p  
    - 用特殊介質(zhì)構(gòu)造光柵結(jié)構(gòu) [用例] Mh3Tfp  
    - 超穎光柵構(gòu)建 – 示例討論 [用例] H[S[ y  
    m7!M stu  
     通過參數(shù)運(yùn)行計(jì)算不同位置的強(qiáng)度 3RJsH :u8  
    - 參數(shù)運(yùn)行文件的使用 [用例] @~sJ ((G[5  
    MfNsor  
     >cw%ckE  
    ebfT%_N  
    VirtualLab Fusion技術(shù) Ht pZ5  
    wwUa+6?  
     Q #IlUo  
       #g=7fu{n:  
     
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