摘要 ;%V%6:5  
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與傳統(tǒng)光柵相比，尤其是在非傍軸情況下，超光柵具有優(yōu)勢(shì)。在此示例中，我們?cè)O(shè)計(jì)了一個(gè)將入射光束分成3x3光束的二維（2D）超光柵。超光柵由圓形納米柱構(gòu)成，并且在VirtualLab Fusion中，我們使用FMM / RCWA評(píng)估超光柵的衍射效率。 并且，我們展示了如何使用參數(shù)優(yōu)化工具來(lái)提高衍射效率的均勻性。 6}>:s
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設(shè)計(jì)任務(wù) }?vc1%w  
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僅位相透射設(shè)計(jì)（IFTA） )ZI9n7  
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僅位相透射設(shè)計(jì)（IFTA） mh4`,N  
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超表面晶胞分析 l*yh(3~}  
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構(gòu)建超光柵 &Vtgh3I  
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初始超表面設(shè)計(jì)的評(píng)估 (;11xu  
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參數(shù)優(yōu)化 3>`CZ]ip}  
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優(yōu)化超光柵設(shè)計(jì)的評(píng)估 _uR-Z_z  

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走進(jìn)VirtualLab _V9 O,"DDc  
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VirtualLab Fusion的工作流程 tv)U 7K0  
 分析超表面晶胞 g*NKY`,  
- 納米柱超表面組件的嚴(yán)格分析 [用例] Ua@rp3fr  
 構(gòu)造超光柵 b,
U3b})(  
 分析光柵衍射效率 cdDMV%V  
- 光柵級(jí)次分析 [用例] h9McC