摘要
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nmL|v 斐索
干涉儀是工業(yè)上常用的一種
光學(xué)測量
儀器,常用于高
精度的光學(xué)表面質(zhì)量檢測。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追跡技術(shù),我們建立了斐索
干涉儀,并將其用于測試不同的光學(xué)表面,如柱面和球面,可以發(fā)現(xiàn)由此產(chǎn)生的干涉條紋對表面輪廓很敏感。
1A;,"8kBd 8=f+`e 建模任務(wù)
+c]D2@ctG o|84yT!~ =dKk #* -H\j-k 觀測傾斜平面
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