摘要 2po>%Cp  
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干涉測(cè)量法是光學(xué)計(jì)量學(xué)的重要技術(shù)。 它被廣泛用于例如，表面輪廓、缺陷、高精度的機(jī)械和熱變形。 作為一個(gè)典型示例，在VirtualLab Fusion中借助非序列場(chǎng)追跡，構(gòu)建了具有相干激光光源的Mach Zehnder干涉儀。 證明了光學(xué)元件的傾斜和移位如何影響干涉條紋圖案。 ToWtltCD  
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元件傾斜引起的干涉條紋 toCxY+"nbU  
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元件移動(dòng)引起的干涉條紋 ;Xw'WMb*=  
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VirtualLab Fusion工作流程 Gw/imXL  
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• 設(shè)置入射高斯場(chǎng)

−基本源模型[教程視頻] 5D32d1A  

• 設(shè)置組件的位置和方向
• −LPD II：位置和方向[教程視頻]
• 設(shè)置組件的非序列通道

− 非序列追跡的通道設(shè)置[用戶案例] ^K#PcPF-j  
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VirtualLab Fusion技術(shù) Vg0$5@  
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