摘要 yY_#fJj  
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光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務。效率可由瑞利系數(shù)計算得到，對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來計算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 UsgrI>|l  
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圖片:1-20040G35K1523.png

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光柵詳細說明 d}
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圖片:1-20040G35RC63.png

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•為了演示一維光柵的光柵分析器，我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 jI%glO'2  
•可以在堆棧中指定光柵參數(shù)，并且在光柵組件的編輯對話框中訪問該參數(shù)。 '7 t:.88  
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光柵階次分析器設置 *p0Kw>  
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•定義光柵結構后，可以配置光柵階次分析器。 hC?rHw H>  
•可以指定各種輸出選項。 bnZ H  
•可以在光學設置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對話框。 $f=6>Kn|^]  
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常規(guī)設置 z9E
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圖片:1-20040G3593ME.png

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•在“常規(guī)”選項卡中，可以選擇是否分析透射率和/或反射率。 *U-:2u
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•另外，可以指定是否要評估透射、吸收和反射的總和，以及是否要顯示極坐標圖。 S6Y:Z0  
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單個階次設置 dDa&:L  
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圖片:1-20040G40005Y8.png

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•在“單個階次”選項卡中，可以選擇是否記錄單個階次的信息。 @`ii3&W4  
•如果想使用VirtualLab Fusion的參數(shù)運行或參數(shù)優(yōu)化來分析和優(yōu)化特定階次的光柵，則此選項非常有用。 _bt9{@)  
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單個階次設置 fL*+[
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圖片:1-20040G40153C7.png

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