摘要 6$Y1[  
<@P0sd   
光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計(jì)算得到，對(duì)于光柵的每個(gè)衍射階次都給出了這兩個(gè)量。VirtualLab Fusion可通過(guò)全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來(lái)計(jì)算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 ~Km8-b(&  
W\/0&H\i  

圖片:1-20040G35K1523.png

v~SN2,h  
%"tf`,d~3  
光柵詳細(xì)說(shuō)明 n!2|;|$}Z  
snrfHDhUw  

圖片:1-20040G35RC63.png

f/xBR"'  
j56Y,Tm  
•為了演示一維光柵的光柵分析器，我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 #frhO;6  
•可以在堆棧中指定光柵參數(shù)，并且在光柵組件的編輯對(duì)話框中訪問(wèn)該參數(shù)。 UA^E^$f:  
+!rK4[W'  
光柵階次分析器設(shè)置 se-}d.PwL  
NGxuwHIQ8  
•定義光柵結(jié)構(gòu)后，可以配置光柵階次分析器。 s<{c?4T  
•可以指定各種輸出選項(xiàng)。 '5IJ;4k  
•可以在光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開(kāi)分析器的編輯對(duì)話框。 F+X3CB,f  
mcvTz, ;=  

圖片:1-20040G35ZX24.png

h6#