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    [討論]RF源暖機(jī)時(shí)間問(wèn)題請(qǐng)教 [復(fù)制鏈接]

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    離線(xiàn)xzaxd
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-10-24
    請(qǐng)教各位大佬： v|]1x2191  
    1、RF源最少暖機(jī)時(shí)間設(shè)置多少合適？source和beam te<lCD6  
    2、暖機(jī)時(shí)間少了或者不暖機(jī)，會(huì)不會(huì)直接導(dǎo)致離子源容易滅弧，影響機(jī)理是什么？
     
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    離線(xiàn)大劍宿意琦行
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2023-10-24
    一般不是兩分鐘嗎？容易滅弧是因?yàn)榕K，沒(méi)保養(yǎng)到位罷了。