1.摘要 i&)OJy  
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白光干涉儀是一種非接觸測(cè)量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測(cè)量。利用一個(gè)邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個(gè)氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長(zhǎng)度等光譜特性，結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長(zhǎng)度基本相同時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。 koj*3@\p/  
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2. 建模任務(wù) v<| iN#  
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3. 干涉條紋的變化 ~O3VX75f  
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4. 走進(jìn)VirtualLab Fusion $vnx)#r3  
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