摘要
0}`.Z03fy sr[[xzL 對(duì)于許多應(yīng)用來說（例如背光、
光學(xué)連接器和近眼顯示），如何將光高效地耦合到波導(dǎo)
結(jié)構(gòu)中是一個(gè)重要的問題。對(duì)于這些應(yīng)用，
傾斜光柵因?yàn)槟軌蚋咝У伛詈蠁紊舛皇熘Ｔ诖耸纠�，介紹了使用嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對(duì)傾斜光柵進(jìn)行
優(yōu)化。對(duì)于給定的方向級(jí)次，優(yōu)化的光柵展示出超過90％的
衍射效率。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。
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