摘要 !7 _\P7M  
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對于許多應(yīng)用來說（例如背光、光學連接器和近眼顯示），如何將光高效地耦合到波導結(jié)構(gòu)中是一個重要的問題。對于這些應(yīng)用，傾斜光柵因為能夠高效地耦合單色光而被熟知。在此示例中，介紹了使用嚴格的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對傾斜光柵進行優(yōu)化。對于給定的方向級次，優(yōu)化的光柵展示出超過90％的衍射效率。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 `X8@/wf#  
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圖片:1-19110G51512293.png

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設(shè)計任務(wù) J8Z0D:5  
RKuqx:U  

圖片:1-19110G51541c6.png

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1級參數(shù)優(yōu)化 , =y#m-9  
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結(jié)果-容差分析 sb.J bE8  
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圖片:1-19110G51HWc.png

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