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激光干涉儀：機(jī)床導(dǎo)軌平行度垂直度精密測(cè)量工具  激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進(jìn)行測(cè)量的精密儀器。廣泛應(yīng)用于光學(xué)、機(jī)械、電子等各種領(lǐng)域的測(cè)量。其中，平行度和垂直度的測(cè)量是激光干涉儀的重要應(yīng)用之一。 傳統(tǒng)的測(cè)量方法通常采用機(jī)械測(cè)量或光學(xué)測(cè)量，但這些方法存在著精度低、誤差大、易受環(huán)境影響等缺點(diǎn)。而激光干涉儀具有高精度、高靈敏度、非接觸性等優(yōu)點(diǎn)，能夠?qū)崿F(xiàn)平行度和垂直度的高精度測(cè)量。 |
