帖子
勛章
關(guān)注
任務(wù)
激光干涉儀：機(jī)床導(dǎo)軌平行度垂直度精密測量工具  激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進(jìn)行測量的精密儀器。廣泛應(yīng)用于光學(xué)、機(jī)械、電子等各種領(lǐng)域的測量。其中，平行度和垂直度的測量是激光干涉儀的重要應(yīng)用之一。 傳統(tǒng)的測量方法通常采用機(jī)械測量或光學(xué)測量，但這些方法存在著精度低、誤差大、易受環(huán)境影響等缺點(diǎn)。而激光干涉儀具有高精度、高靈敏度、非接觸性等優(yōu)點(diǎn)，能夠?qū)崿F(xiàn)平行度和垂直度的高精度測量。  激光干涉儀平行度測量原理 平行度測量是在直線度測量的基礎(chǔ)上而擴(kuò)展的應(yīng)用。平行度測量由平行軸的兩組直線度測量組成，參見下面平行度測量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測量過程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整。由第1運(yùn)動軸的斜度θ1中減去第2運(yùn)動軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ2。  平行度測量配置及應(yīng)用 平行度測量配置主要由SJ6000主機(jī)、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成。Z軸的平行度測量需增添可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡。  激光干涉儀垂直度測量原理 垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸。垂直度測量由正交軸的兩組直線度測量組成，詳見下面垂直度測量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測量過程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整；光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線度測量中，允許調(diào)整激光束與軸的準(zhǔn)直。垂直度誤差＝光學(xué)直角尺誤差－斜度θ1－斜度θ2。 垂直度測量配置及應(yīng)用 |
