具有直壁或傾斜側(cè)壁的二元
光柵已成為許多
光學(xué)應(yīng)用中的關(guān)鍵部件。 感謝
納米壓印技術(shù),使小尺寸的光柵的制造已經(jīng)變得可行。
VirtualLab Fusion采用內(nèi)置的傅里葉模態(tài)方法(FMM,也稱為RCWA)和不同的
優(yōu)化算法,為二元光柵提供了完整的用戶友好的設(shè)計工作流程,和隨后的制造誤差分析,如圓邊效應(yīng)。
QjehDwt| ?OdV1xB 高效
偏振無關(guān)透射光柵的分析與設(shè)計
t) ; TlM'g6SQS gkSGRshf 我們演示了如何嚴格分析二元光柵的偏振相關(guān)特性; 以及如何優(yōu)化二元
結(jié)構(gòu)以獲得高偏振無關(guān)的
衍射效率。
9)#gtDM%J 7ytm.lU 傾斜光柵的
參數(shù)優(yōu)化與
公差分析
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# FrgW7`s[A 利用傅立葉模態(tài)法(FMM)優(yōu)化傾斜光柵,以實現(xiàn)將光耦合到波導(dǎo)中的高衍射效率。 分析制造公差,如圓形邊緣。
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